NI-Abteilung
MFA(Massendurchflussverstärker)
- Eigenschaften
- Band-Heizung +Pad-Heizung + Modul zur Steuerung der Luftfeuchtigkeit + Abdeckung
- 146 (W) x 120(D) x 225 (H)
- GI + hitzebeständig lackiert (schwarz)
- Funktion
Das MFA-System wird in einer Vielzahl von Halbleiter-Prozessanlagen wie CVD, Metal,
Etching, Diffusion und Implant zur Steigerung der Emissionseffizienz eingesetzt.
- Maximierung des Schutzes der Rohre durch thermische Strömungsregelung
- Effiziente Abluftbewegung durch Rotorströme
- PID-Steuerung für eine präzise Temperaturregelung
- Automatische Anpassungsprozesse für die automatische Optimierung
- RS485-Kommunikation für den Empfang und Empfang von Steuerdaten
- Überwachung der Betriebszustände von Schnittstellenheizsystemen möglich
- Bimetall-Schnittstelle zur Vermeidung von Überhitzung